仕元光电设备制作能力介绍
一、光刻机：MP80+C1
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项目 |
内容 |
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机型 |
MP80+C1 |
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制造商 |
MICRONIC |
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产地 |
瑞典 |
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最大尺寸 |
700×800mm |
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曝光方式 |
高精度激光直描刻写 |
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制作能力 |
最小线缝：1.5um,CD精度：±0.15um |
二、检验仪2：
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项目 |
内容 |
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机型 |
MX61L |
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制造商 |
日本奥林巴斯 |
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产地 |
日本 |
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最大尺寸 |
700×800mm |
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检验方式 |
人工目视检查 |
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检验感度 |
1um（物镜100倍） |
三、修补测量仪：
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项目 |
内容 |
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机型 |
SYO-6050 |
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制造商 |
台湾晟耀光电科技有限公司 |
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产地 |
台湾 |
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最大尺寸 |
800×800mm |
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修补方式 |
Laser cut |
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修补能力 |
2um |
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测长精度 |
±0.5um |
